一步法硅片上生長(zhǎng)和轉(zhuǎn)移石墨烯
新加坡的科學(xué)家發(fā)現(xiàn)了一步法生長(zhǎng)和轉(zhuǎn)移石墨烯到硅片和其它的硬質(zhì)基底
上。這項(xiàng)發(fā)現(xiàn)來(lái)自新加坡國(guó)立大學(xué)（NUS），由 Loh Kian Ping 教授主導(dǎo)，將迎
來(lái)石墨烯在高價(jià)值領(lǐng)域的應(yīng)用。
這項(xiàng)突破，受到甲殼蟲(chóng)和和樹(shù)蛙腿附著水下的葉子的啟發(fā)，被認(rèn)為是目前為
止實(shí)現(xiàn)石墨烯在硅片上生長(zhǎng)和轉(zhuǎn)移的第一個(gè)已發(fā)布的技術(shù)這項(xiàng)技術(shù)使石墨烯應(yīng)
用在光電產(chǎn)品成為可能，像光電調(diào)節(jié)器、晶體管、芯片傳感器和隧道結(jié)。這項(xiàng)發(fā)
現(xiàn)最早在Nature 上發(fā)布。
Loh 教授曾在一份聲明中表示:雖然柔性石墨烯有很多潛在的應(yīng)用，但是目
前為止大部分半導(dǎo)體組件是在硬質(zhì)基底比如說(shuō)硅和石英上運(yùn)行的。
作為這項(xiàng)論文的第一作者 Gao Libo 博士同時(shí)也是NUS 理學(xué)院石墨烯研究中
心的一名研究員。他在涂覆硅襯底的銅催化層上生長(zhǎng)了石墨烯，石墨烯生長(zhǎng)好后，
銅被腐蝕掉，而石墨烯氣泡形成的毛細(xì)管道固定住了。這與甲殼蟲(chóng)和樹(shù)蛙的退粘
附在水下的葉子上很像。毛細(xì)管道能夠幫助石墨烯覆在硅表面同時(shí)防止石墨烯在
催化劑銅箔腐蝕過(guò)程中發(fā)生分離。這樣石墨烯覆在了硅層上。為了促進(jìn)毛細(xì)管道
的形成，Gao 博士采用將氣體注入硅片，這能幫助調(diào)整界面性能促進(jìn)在液體滲透
過(guò)程中毛細(xì)管通道的形成，添加的表面活性劑能幫助消除轉(zhuǎn)移過(guò)程中褶皺的形成
這種“面對(duì)面”轉(zhuǎn)移技術(shù)被認(rèn)為同樣適用于半導(dǎo)體批量生產(chǎn)線(xiàn)和在硅片上制
造大規(guī)模集成電路。
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